電子部品および半導体冷却

電子部品や半導体の製造には、正確な温度制御が不可欠です。コンパクトで信頼性の高いSWEPのろう付け式プレート熱交換器は、こうした要求の厳しいシステムで必要とされる正確な温度制御と小さな設置面積を実現します。

SWEP in electronics and semiconductor cooling solutions

電子部品製造用チラー

エレクトロニクス業界では、回路基板やその他の電子・電気部品の生産に専用のチラーが不可欠です。

回路基板製造

銅板の化学エッチングは熱を発生させ、腐食槽内の液体の温度を上昇させ、回路基板の品質に影響を及ぼす可能性があります。工業用チラーは、腐食槽の温度維持に役立ちます。

回路基板と電子部品のクリーニング

洗浄槽で電子部品や回路基板を洗浄すると、洗浄液の温度が上昇します。工業用チラーを使用することで、洗浄槽の温度を維持し、蒸発を防ぎ、必要な洗浄液の量を減らすことができます。

業務に最適

電子部品および半導体冷却

多くの半導体チラーでは、蒸発器内で特定の金属を腐食させる非常に侵食性の高い溶媒であるイオン交換水を使用しています。SWEP All-stainlessのBPHEシリーズは、これらのシステムに最適な選択肢です。これらの製品は銅の腐食や汚染のリスクを排除し、冷却システムの寿命を延ばします。

半導体製造用チラー

半導体ウェハーは、「ドライエッチング」と呼ばれるプロセスを用いて、絶対的な精度で成形される必要があります。エッチングプロセス中、ウェハーは静電チャック（ESC）によってしっかりと固定され、ESCはウェハーを載せるプラットフォームとして機能します。ESCはウェハーと直接接触するため、そこでの温度変動はチャンバー内のエッチング速度に大きな影響を与え、ウェハー上にエッチングされる形状の均一性を損なう可能性があります。エッチング速度が一定でないと、臨界寸法（CD）が変化し、最終的には半導体の品質に影響を及ぼす可能性があります。