Exakt temperaturkontroll är avgörande för tillverkningen av elektronik och halvledare. SWEP:s kompakta och tillförlitliga lödda plattvärmeväxlare erbjuder den exakta temperaturkontroll och den lilla yta som dessa krävande system behöver.
Kemisk etsning av kopparplåtar genererar värme, vilket ökar temperaturen på vätskan i korrosionsbassängen, vilket i sin tur kan påverka kretskortets kvalitet. En industriell kylmaskin kan hjälpa till att bibehålla temperaturen i korrosionsbassängen.
Rengöring av elektroniska komponenter och kretskort i en rengöringsbassäng leder till att rengöringsvätskans temperatur stiger. En industriell kylmaskin kan hjälpa till att bibehålla temperaturen i rengöringsbassängen, förhindra förångning och minska mängden rengöringsvätska som behövs.
Många kylmaskiner för halvledare använder avjoniserat vatten i förångaren, ett mycket aggressivt lösningsmedel som korroderar vissa metaller. SWEP:s All-Stainless-produktserie av lödda värmeväxlare är det naturliga valet för dessa system. De eliminerar risken för korrosion och kontaminering av koppar, vilket förlänger kylsystemets livslängd.
Halvledarskivor måste formas med absolut noggrannhet med hjälp av en process som kallas "torretsning". Under etsningsprocessen hålls skivorna säkert på plats av den elektrostatiska chucken (ESC) som fungerar som den plattform som de vilar på. Eftersom ESC är i direkt kontakt med halvledarskivan kan temperaturväxlingarna avsevärt påverka etshastigheten i kammaren och äventyra enhetligheten för de detaljer som etsas på den. Inkonsekventa etshastigheter kan i sin tur leda till förändringar av kritiska dimensioner (CD), vilket i slutändan påverkar kvaliteten på halvledarna.
Den exakta temperaturkontroll som krävs vid torretsning kan endast uppnås med avancerade kylningssystem som är särskilt utformade för halvledarindustrin.
Kylmaskiner för halvledare är självbalanserande cirkulationsanordningar som består av en värmeväxlare, en cirkulationspump, en kompressor och ett styrsystem. De kan vara system med en, två eller tre kanaler. När avjoniserat vatten används i förångaren är SWEP All-Stainless™ det naturliga valet.
Produktbladet visar ett exempel på ett tryck för vår populäraste modell som finns specificerat längst ned på sidan.