Elektronik- und Halbleiterkühlung
Eine präzise Temperaturregelung ist für die Herstellung von Elektronikprodukten und Halbleitern entscheidend. Die kompakten und zuverlässigen gelöteten Plattenwärmeübertrager von SWEP bieten die präzise Temperaturregelung und die kleine Stellfläche, die für diese anspruchsvollen Systeme erforderlich sind.
Herstellung von Leiterplatten
Beim chemischen Ätzen von Kupferplatten entsteht Wärme, wodurch sich die Temperatur der Flüssigkeit im Korrosionsbecken erhöht. Das wiederum kann die Qualität der Leiterplatte beeinträchtigen. Ein industrieller Kaltwassersatz kann dazu beitragen, die Temperatur des Korrosionsbeckens aufrechtzuerhalten.
Reinigung von Leiterplatten und elektronischen Bauteilen
Die Temperatur der Flüssigkeit in einem Reinigungsbecken steigt bei der Reinigung von Elektronikbauteilen und Leiterplatten an. Ein industrieller Kaltwassersatz kann zur Aufrechterhaltung der Temperatur im Reinigungsbecken beitragen, wodurch die Verdunstung verhindert und die Menge der benötigten Reinigungsflüssigkeit reduziert wird.
Wie geschaffen für diese Aufgabe
Elektronik- und Halbleiterkühlung
Viele Halbleiter-Kaltwassersätze verwenden deionisiertes Wasser in ihrem Verdampfer. Dabei handelt es sich um ein sehr aggressives Lösungsmittel, das bestimmte Metalle angreift. Die All-Stainless-Produktreihe der BPHE von SWEP ist die optimale Wahl für diese Systeme. Sie eliminieren das Risiko von Kupferkorrosion und Verunreinigung und verlängern so die Lebensdauer des Kältesystems.
Industrielle Kaltwassersätze für die Halbleiterfertigung
Die Halbleiterscheiben müssen mit absoluter Präzision geformt werden. Hierbei kommt ein Vorgang zum Einsatz, der als „Trockenätzen” bezeichnet wird. Dazu werden die Scheiben von einem elektrostatischen Halter, der gleichzeitig als Plattform fungiert, sicher in ihrer Position gehalten. Da der elektrostatische Halter in direktem Kontakt mit der Halbleiterscheibe steht, wirken sich Temperaturschwankungen in diesem Bereich ggf. erheblich auf die Ätzrate in der Kammer aus. Das wiederum beeinträchtigt die Regelmäßigkeit der geätzten Merkmale. Ungleichmäßige Ätzraten können wiederum zur Veränderung der kritischen Abmessungen führen, was sich letztlich auf die Qualität der Halbleiter auswirkt.
Präzise Temperaturregelung
Die beim Trockenätzen erforderliche präzise Temperaturregelung kann nur durch fortschrittliche, speziell für die Halbleiterindustrie entwickelte Kaltwassersatzsysteme erreicht werden.
Halbleiter-Kaltwassersätze haben die folgenden Eigenschaften:
- Schnelle Rampenraten – Hochleistungs-Halbleiter-Kaltwassersätze zeichnen sich durch schnelle Temperaturübergänge aus, minimieren Ausfallzeiten und steigern die betriebliche Effizienz.
- Schnelle Reaktion – Ein flexibles Kaltwassersatzsystem passt sich sofort an die erforderlichen Temperaturänderungen an und gewährleistet gleichbleibende Bedingungen während des gesamten Trockenätzvorgangs
Kaltwassersätze mit deionisiertem Wasser
Bei Halbleiter-Kaltwassersätzen handelt es sich um selbstregulierende Umlaufanlagen, die aus einem Wärmeübertrager, einer Umwälzpumpe, einem Verdichter und einem Regelsystem bestehen. Die Anlagen können mit einem, zwei oder drei Kanälen ausgeführt sein. Wenn deionisiertes Wasser im Verdampfer eingesetzt wird, ist All-Stainless™ von SWEP die optimale Wahl.
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Das Produktblatt zeigt eine beispielhafte Druckentwicklung bei unserem beliebtesten Modell, das in der Fußzeile genauer spezifiziert ist.
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SWEP B5T
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SWEP B10TS
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SWEP B221
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SWEP B222
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SWEP B80S
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SWEP B85S
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© 2025 SWEP International AB, a Dover company
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